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氣體檢測變送器的技術工藝

時間: 2014-12-24  點擊次數(shù): 1761次
  

氣體檢測變送器作為一種探測和監(jiān)測有毒氣體的儀器,為在有害氣體現(xiàn)場工作的工作人員提供安保障。氣體檢測變送器在微電子和微機械迅速發(fā)展的基礎上,基于MEMS的新型微結構氣敏傳感器,主要有硅基微結構氣敏傳感器和硅微結構氣敏傳感器。硅基微結構氣敏傳感器是襯底為硅,敏感層為非硅材料的微結構氣敏傳感器。主要有金屬氧化物半導體、固體電解質(zhì)型、電容型、諧振器型。硅微結構:主要是金屬氧化物-半導體-場效應管(MOSFET)型和鈀金屬-絕緣體-半導體(MIS)二極管型。

氣體檢測變送器MEMS技術將傳感器與IC電路集成一起,而且精度高、體積小、質(zhì)量輕功耗低、選擇性高、穩(wěn)定型高,同種器件之間的互換型高,可以批量生產(chǎn)。所以是傳感器工藝的發(fā)展方向,而且基本所有的傳感器都可以用MEMS技術生產(chǎn)。隨著MEMS技術和納米技術的發(fā)展,將會給氣敏傳感器的發(fā)展提供更廣闊的的前景。同時實現(xiàn)傳感器陳列,也就是電子鼻集成成為可能,并將有很大的發(fā)展空間,給傳感器帶來新的發(fā)展篇章。

 

為了實現(xiàn)NDIR氣體傳感器的測量、控制以及自動標定等功能,需要一個合適的微控制器來管理傳感器。傳感器測控系統(tǒng)通過采集紅外輸出信號及測量標準氣體曲線,采用非線性校正算法可以直接得到測量氣體的濃度。通過采用以上技術,NDIR紅外氣體傳感器的結構比以往儀器將大大簡化,儀器功耗也大幅度降低(只有以往的1/4),傳感器的成本也不到以往技術的1/4。此類傳感器可以實現(xiàn)模塊化和標準化,因此更加適合在我國廣泛使用。

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